測定・分析

半導体関係のお客様

 

 

3Dリアルサーフェスビュー顕微鏡VE-8800でSEM撮影
画像より異物発見!

元素スペクトル

グラフに表すと…
炭素(C)と酸素(O)、カリウム(Ca)を主成分とする不純物だと判明